氦质谱检漏仪是一种高灵敏度的检测漏气的仪器，氦质谱检漏仪的工作原理是利用氦气分子在真空中扩散的特性，通过将氦气注入被检测物体内部或周围环境中，然后使用氦质谱仪检测周围环境中是否存在氦气。因为氦气分子非常小，能够穿过非常小的漏洞或裂缝，因此氦质谱检漏仪能够检测到非常小的漏洞或裂缝。同时，氦气是一种非常稳定的气体，不会与其他物质发生反应，不会对被检测物体产生影响。